解析KW-4A勻膠機詳細的操作步驟原理圖操作使用

旋涂是一種用于將均勻薄膜沉積到平坦基材上的程序。通常在基材中心涂上少量涂層材料，基材要么低速旋轉，要么根本不旋轉。然后使基材高速旋轉，以便通過離心力散布涂層材料。 用于旋涂的機器稱為旋涂機，也叫勻膠機。

在涂覆您的第一個薄膜之前，一個成功的結果需要您注意以下幾點：

操作使用

• 環(huán)境條件，包括溫度、濕度、空氣中的顆粒物等。

• 您的耗材質量——您的化學成分是否新鮮？

• 基材和設備的清潔度。從受污染的基材開始會在開始之前破壞您的過程

、正確居中的基板

在旋涂機上將基材準確居中可實現一致的涂層。不規(guī)則的形狀需要以眼睛為中心。方形和矩形基板受益于嵌入式卡盤，該卡盤自動使基板居中并減少旋涂期間的邊緣積聚。

2、靜態(tài)點膠

大多數人開始使用靜態(tài)分配方法進行旋涂。這是開始旋涂的簡單方法，需要您將化學品分配到固定的基材上。

3、注入你的涂布樣品

使用移液器或注射器穿過旋涂機蓋上的孔，將平穩(wěn)的化學物質流分配到基板的中心。一般來說，材料應該被分配，直到它覆蓋基材直徑的50%

4、開始旋轉

一旦分配了正確數量的材料，就開始涂層程序。汶顥勻膠機在旋涂配方的每一步都可以編程，以提高速度和加速度。

5、擴散

您的旋涂機應進行編程，以允許中間步驟將基材加速到中等速度，并允許化學物質在表面上順利擴散。

6、多余的材料被丟棄

當材料到達基板邊緣時，進一步的加速步驟將從晶圓上鑄造出多余的材料。汶顥旋涂機的工藝室旨在防止多余的材料濺回基板上。

7、加速到最終旋轉速度

最后一步需要您的旋涂機快速加速到產生正確厚度涂層所需的最終旋轉速度。

8、溶劑蒸發(fā)

在最終旋轉速度下，溶劑將從涂層中蒸發(fā)。控制旋涂機上的排氣量將使您能夠調整工藝室中溶劑蒸氣的濃度。

9、邊膠

旋涂工藝會在基板邊緣留下堆積的材料。